操作原理
計量氣體分為兩個層流通道，一個通過主流量控制，另一個通過毛細管傳感器。兩個流動管道的設計都是為了確保層流流動，因此它們的流動速率比是恒定的。
傳感器管上的兩個精密溫度傳感繞組被加熱，當流動發生時，氣體攜帶來自傳感器的熱量
從上游到下游繞組。由此產生的溫差與傳感器繞組電阻的變化成比例。
采用惠斯通電橋設計來監測傳感器繞組上與溫度有關的電阻梯度，該梯度與瞬時流量成正比。
產生0至5 VDC和4至20 mA的輸出信號，指示計量氣體的基于質量分子的流速。
在規定的限制范圍內，流速不受溫度和壓力變化的影響。一般說明緊湊、獨立的GFM質量流，流量計是用來讀取氣體流速的。堅固耐用的設計加上儀表等級的精度，提供了令人滿意和經濟的流量測量方法。
鋁或不銹鋼型號，其讀數選項為工程單位（標準）或0至100%顯示可用。
內置在液晶顯示器頂部的機械布局設計。該讀出模塊可傾斜90度以上提供jia閱讀舒適度。它通過一個標準的模塊化插頭連接到傳感器上，并且也易于拆卸用于遠程閱讀安裝。
設計特點
剛性金屬結構。
大壓力為1000 psig（70巴）。
氦泄漏完整性1 x 10-9。
NIST可追溯認證。
內置可傾斜液晶顯示器讀數。
0-5 Vdc和4-20 mA信號。
電路保護。
可作為便攜式設備使用。
工程單位或0至100%顯示。
TIO累加器選項。
表1-GFM規范
精度：GFM 17、37和47：滿量程的±1.0%。
GFM 57、67和77：滿量程的±1.5%?？蛇x增強精度：滿量程的±1.0%。
校準：除非另有要求，否則在標準條件[14.7 psia（101.4 kPa）和70°F（21.1°C）]下進行。
重復性：滿量程的±0.25%。
響應時間：一般為2秒至實際流量的±2%以內，滿量程為25%至100%。
溫度系數：滿量程的0.15%/°C。
壓力系數：滿量程的0.01%/psi（0.07 bar）。
大壓降：見表3。
氣體和環境溫度：32°F至122°F（0°C至50°C）。14°F至122°F（-10°C至50°C）-僅干氣。
0-5 Vdc線性輸出信號。小負載阻抗為1000歐姆，回路電阻為4-20 mA 0-500歐姆。
傳感器輸入功率：通用+12至+26 Vdc，大200 mA。
時間常數：800ms。
氣體壓力：1000 psig（70巴）大GFM 17、37、47。20 psig（1.4 bar）。
500 psig（34.5 bar）GFM 57、67、77。20 psig（1.4 bar）。
**材料
流體接觸：
a、 鋁型號GFM系列：陽極氧化鋁，316不銹鋼，黃銅和氟橡膠®O型環。
b、 不銹鋼型號GFM17S、37S、47S、57S、67S和77S:316不銹鋼和氟橡膠®O型環。
可選O型環：丁納橡膠®、EPR和Kalrez®。
姿態靈敏度：從水平到垂直旋轉不大于+15度；標準校準在水平位置。
連接：GFM 17:1/4“壓縮配件?？蛇x：6毫米、3/8英寸和1/8英寸壓縮配件或1/4英寸VCR®。
GFM 37:1/4“壓縮配件?？蛇x：6毫米和3/8英寸壓縮配件或1/4英寸VCR®。
GFM 47:3/8“壓縮配件。
GFM 57:3/8“壓縮配件。
GFM 67：1/2“壓縮配件。
GFM 77：3/4“FNPT配件或3/4"壓縮配件。
泄漏完整性：1 x 10-9 smL/sec的氦氣大泄漏到外部環境。
符合CE：EN 55011 1級，B級；EN50082-1。